连续流液氮探针台
核心功能特性
»液氮冷却样品台，蒸发后的低温氮气冷却防辐射屏，充分利用低温液体
»防辐射屏带红外吸收窗口，减少热辐射影响，提高温度稳定性
»可安装多个温度传感器，保证温度测量准确性以及重复性
»样品处于真空环境中，确保亲水性材料表面不冷凝
»支持 IV、CV 基础电学测试，是入门级低温探针测试的理想选择
技术参数
| 参数类别 | 技术规格 |
| 温度属性（液氮） | 最低温度 78K，控温范围 80K-500K，高温选件可达675K |
| 控温稳定性 | 80K-300K: ±50mK；300K-500K: ±100mK |
| 真空性能 | 室温：:<5x10^-4Torr；最低温:<5x10^-5TorT; |
| 时间参数 | 抽空 0.5h；降温 25min（室温到最低温）；升温 45min（最低温到室温） |
| 样品台 | 标准 51mm(2in)，最大可选 102mm(4in)，接地/三同轴可选 |
| 探针配置 | 最多 6 个探针，绝缘电阻>100GΩ，漏电流 |
| 光学系统 | 显微镜，0.7X-5X 放大，500 万像素 CCD 相机，分辨率3.1μm，带同轴和环形光源 |
| 探针位移 | X:50mm(刻度 20μm)；Y:25mm(刻度 10μm)；Z:25mm(刻度 10μm) |
| 制冷剂消耗 | 室温到最低温：2L 液氮；最低温维持：0.5L/h |
| 配电要求 | 220V/50Hz，功率 1KW |
LVT-PS 提供 80K-500K 宽温区测试能力，真空度达 5×10^-5Torr，支持最多 6 探针配置
探针臂配置方案
产品核心特点
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• 真空环境测试 室温真空度 5×10⁻⁴Torr，最低温 5×10⁻⁵Torr，防止样品氧化与冷凝 • 宽温区测试 标准配置 80K-500K，高温选件可达 675K • 独特热沉设计 探针臂和探针均做热沉处理，确保样品真实温度与显示温度一致 • 多种探针臂可选 多种探针臂可选 配合多样探针臂类型，保证广泛样品类型的测试需要 |
探针配置与选型
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针尖材料与特性 • 钨（W）：常用耐用，能穿透氧化层，适用各种样品表面，导电性好，使用寿命长。 • 铍铜（BC）：接触电阻小，常用于沉金焊盘 pad 扎针，导电性优，接触电阻最小。 • Paliney 7 合金（P7）：专用精密探针，接触电阻小，适用于精密焊盘 pad。
针尖直径规格 • 可选直径：1μm、5μm、10μm、20μm、100μm。 • 小直径 (1-10μm)：适用于微纳器件、高密度测试。 • 大直径 (20-100μm)：适用于常规器件、功率器件测试。
探针性能指标 • 通用 DC：绝缘电阻>100MΩ，电容 • 高阻 DC：绝缘电阻>100GΩ，电容 • RF/微波 -40GHz：反射 • RF/微波 -67GHz：反射 |
光学系统介绍
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LZ 显微镜，光学放大 0.75X-5X 连续可调，满足不同观测需求。 配备500 万像素彩色 CCD 相机，采用高品质 CMOS 彩色传感器，成像清晰锐利。 显微镜支臂支持旋转、升降、前后移动，实现全方位、多角度样品观测。 集成同轴光源和环形 LED 光源，智能补光，保证各种反光或暗色样品的清晰度。 搭配27 英寸高清显示器，支持实时录像、高清拍照及精密测量功能。 工作距离90-100mm，光学分辨率可达3 微米，细节纤毫毕现。 人性化设计，更换样品时支臂可旋转到一侧，留出充足操作空间，便捷高效。 |
样品台与真空系统
温度控制系统
典型应用案例
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纳米电子学 纳米线、纳米管、二维材料等微纳器件电学特性测试 支持 IV、CV 曲线测量，低温载流子迁移率测试 |
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半导体器件 硅基、化合物半导体器件低温特性表征 深能级瞬态谱（DLTS）测试，缺陷分析 |
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微波电子学 配合 40GHz/67GHz 射频探针进行 S 参数测试 微波器件、射频电路的低温性能评估 |
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MEMS/NEMS 微机电系统低温性能评估 谐振器、传感器等 MEMS 器件测试 |
系统组成架构
| 温度配置 | 真空腔体 | 支架与配电 |
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样品台：PT100 传感器，100W 加热器 防辐射屏：PT100 传感器，50W 加热器 探针臂（选配）：PT100 传感器 控制系统：八通道温度控制器，1.5m 液氮输液管带 流量阀 液氮罐：50L 自增压液氮罐，可选容量 |
材质：6061 铝合金，表面镀镍 外部尺寸：直径 200mm × 高度 160mm 内部尺寸：直径 160mm × 高度 150mm 可视窗：φ65mm，标配石英窗口 真空接口：KF25 手动挡板阀，预留 KF25 接口 探针引出口：标准真空三同轴接口 |
台面尺寸：850×720×20mm 仪表：430×88.9×358mm 隔振气浮支架：600×530×530mm，选配 配电：220V/50Hz，功率 1KW |
系统布局建议
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布局建议
• 光学平台：建议使用650*1200mm及以上平台 • 真空泵：建议放置于探针台附件1米范围内 • 气浮支架（选配）：选装后无需考虑光学平台 • 液氮杜瓦：使用时移动到探针台附近合适位置，非使用时可以移到灰区放置 • 氮气瓶（自配）：建议配氮气瓶，用于 破真空使用，或日常内腔环境保持 • 仪表及光源：温控仪、光源、客户自有仪表，可放 置于探针台附近光学平台上 |
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样品托性能对比
核心洞察：三同轴样品托提供最高绝缘性能（>100GΩ），适用于高阻抗低漏电流测试场景，是精密测量的首选方案。
研究案例展示
